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                                                                              掃描電子顯微鏡儀器維護(hù)方法

掃描電子顯微鏡（SEM）的維護(hù)需重點(diǎn)關(guān)注電子光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、探測(cè)器及樣品室等關(guān)鍵部件的保養(yǎng)。以下是具體維護(hù)方法

電子光學(xué)系統(tǒng)維護(hù)

1：燈絲更換?：鎢燈絲壽命約100-200小時(shí)，場發(fā)射槍燈絲壽命約1000-2000小時(shí)，需定期檢查電流穩(wěn)定性并按時(shí)更換。 ?

2：電磁透鏡維護(hù)?：確保電源穩(wěn)定并避免外部磁場干擾，定期檢查電流穩(wěn)定性和磁場強(qiáng)度。 ??

真空系統(tǒng)維護(hù)

1.泵油檢查?：機(jī)械泵油每6個(gè)月更換，分子泵潤滑脂每年更換，日常需監(jiān)測(cè)油位和泵效。 ?

2.真空度校準(zhǔn)?：長期未用需啟動(dòng)真空泵逐步提升真空度至10??~10?? Pa，并監(jiān)測(cè)真空曲線變化。 ?

探測(cè)器維護(hù)

1：清潔與校準(zhǔn)?：二次電子探測(cè)器和背散射探測(cè)器需用氮?dú)饣蜍浢⒊龎m，每月通過標(biāo)準(zhǔn)樣品校準(zhǔn)靈敏度。 ?

樣品室維護(hù)

1：日常清潔?：每次實(shí)驗(yàn)后用無塵紙或酒精擦拭樣品臺(tái)、探頭及腔體內(nèi)壁，禁用有機(jī)溶劑。 ?

2：深度清潔?：每月用超聲波清洗可拆卸部件，氮?dú)獯蹈珊笾匦掳惭b并測(cè)試運(yùn)動(dòng)精度。 ?

環(huán)境控制

1：溫濕度?：實(shí)驗(yàn)室溫度保持18~25℃，濕度≤60%，避免設(shè)備受潮或過熱。 ?

2：防塵防震?：設(shè)備需置于防震臺(tái)上，遠(yuǎn)離門窗和熱源，配備HEPA濾網(wǎng)。 ?

長期未用呵護(hù)

每周通電初始化控制系統(tǒng)并觀察指示燈狀態(tài)

啟動(dòng)真空泵運(yùn)行8小時(shí)并監(jiān)測(cè)真空曲線

重新安裝燈絲并進(jìn)行老化校準(zhǔn) ?