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掃描電子電鏡（SEM）作為一種高精度的分析儀器，其日常維護對于保持設備的性能和延長使用壽命至關重要。以下從環境控制、清潔保養以及規范操作三個方面，詳細介紹掃描電子電鏡的日常維護方法。

一、環境控制

掃描電子電鏡對環境條件極為敏感，因此，創造一個穩定且適宜的工作環境是維護的首要任務。

• ?溫度控制?：設備應置于溫度穩定在20-25℃的環境中，且溫度波動不應超過±1℃/小時，以防止因溫度變化引起的儀器性能波動。

• ?濕度調節?：相對濕度應控制在40-60%之間，避免濕度過高導致的結露現象或濕度過低引發的靜電干擾，兩者均可能對電鏡造成損害。

• ?防震措施?：電鏡應遠離振動源，并安裝在獨立的防震臺上，以減少外部振動對儀器內部精密部件的影響。

• ?電源穩定?：確保電源穩壓，電壓波動不超過±5%，以防止因電壓不穩造成的電鏡工作異常。

二、清潔保養

定期清潔和保養是保持電鏡性能穩定的關鍵。

• ?樣品室清潔?：建議每周使用無塵布蘸取適量酒精，對樣品室進行擦拭，以去除可能殘留的污染物，保持樣品室的清潔。

• ?電子槍維護?：每月檢查電子槍的燈絲狀態，如發現燈絲老化或損壞，應及時更換，以確保電子束的穩定發射。

• ?真空系統檢查?：定期觀察真空系統中油窗的顏色變化，如發現油色變深，表明擴散泵油已老化，需及時更換，以維持真空系統的正常運行。

• ?探測器保養?：每季度使用專用氣吹對二次電子探測器進行清潔，以防止灰塵積累影響探測效果。

三、規范操作

正確的操作習慣對于保護電鏡、避免不必要的損壞至關重要。

• ?開機順序?：應遵循先開循環水系統，再開啟真空系統，最后加高壓的順序進行開機操作。

• ?樣品制備?：在放入樣品前，應確保樣品干燥且清潔，避免污染樣品室或對電鏡造成損害。

• ?參數設置?：在觀察樣品時，應從低倍數開始，逐步調整至所需倍數，以避免因參數設置不當導致的圖像質量下降或設備損壞。

• ?關機流程?：關機時，應先降低高壓，再關閉電子槍，最后關閉真空系統，以確保設備安全關閉。

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